核心半导体设备龙头上市状态一览
| 设备类别 | 制造商 | 上市状态 | 股票代码与板块 | 资本市场地位 |
|---|---|---|---|---|
| 光刻机 | 上海微电子 (SMEE) | ❌ 未上市 | 暂无（2024 年 10 月已撤回科创板 IPO 辅导，正探索借壳上市路径） | 借壳传闻标的包括海立股份、华建集团、电气风电等上海电气系平台；张江高科 (600895) 通过全资子公司张江浩成持股约 10.78%，为最受关注的参股 A 股标的 |
| 刻蚀机 | 中微公司 (AMEC) | ✅ 已上市 | 688012（科创板） | 科创板半导体设备的核心权重股之一 |
| 薄膜沉积 | 拓荆科技 | ✅ 已上市 | 688072（科创板） | 国内薄膜沉积设备（PECVD/ALD/HDPCVD 等）的绝对核心标的 |
| 离子注入 | 万业企业（凯世通） | ✅ 已上市 | 600641（沪市主板） | 凯世通为万业企业全资子公司；另一巨头中科信未独立上市（隶属中国电子科技集团 CETC） |
| 清洗设备 | 盛美上海 (ACM Shanghai) | ✅ 已上市 | 688082（科创板） | 母公司 ACM Research 亦在美国纳斯达克上市（美股代码：ACMR） |
| 化学机械抛光 (CMP) | 华海清科 | ✅ 已上市 | 688120（科创板） | 清华大学技术背景，国内 CMP 设备唯一的标杆企业 |
| 量测与检测 | 中科飞测 | ✅ 已上市 | 688361（科创板） | 国内前道光学量测检测设备第一股 |
| (平台型巨头) | 北方华创 (NAURA) | ✅ 已上市 | 002371（深市主板） | A 股市值最高、营收规模最大的半导体设备超级总龙头（覆盖刻蚀、薄膜、清洗、热处理、外延等多品类） |